珂玛科技静电卡盘技术突破点分析

根据收集到的公开信息，珂玛科技在静电卡盘领域实现了多项重要的技术突破，主要体现在以下几个方面：

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• 珂玛科技已完成12英寸静电卡盘的验证并实现小规模量产[1]
• 相比传统8英寸产品，12英寸静电卡盘具有更大的尺寸支持和更高的精度要求，能够满足先进制程芯片的制造需求[2]
• 目前装配于刻蚀机的8英寸型号静电卡盘已经实现量产，为12英寸产品的开发奠定了技术基础[2]

• 12寸多区加热静电卡盘已完成产品开发，目前正积极推进客户验证进程[1]
• 多区加热技术通过对每一温控区进行单独温度控制，实现晶圆整体的均热性，提高半导体工艺的良率[3]

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珂玛科技是国内少数掌握六大类先进陶瓷材料全流程工艺的企业，包括：

• 氧化铝
• 氧化锆
• 氮化铝
• 碳化硅
• 氧化钇
• 氧化钛[4]

• 高纯度氧化铝、高导热氮化铝等关键材料的性能指标已达到国际主流水平[5]
• 公司掌握6种基础材料的高纯度粉末合成技术、精密成型技术和高温烧结工艺，确保材料在极端环境下的稳定性和寿命[6]

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• 静电卡盘是典型应用不同材料结合技术的"功能-结构"一体化产品[4]
• 该产品是半导体领域众所周知的资源投入大、研发周期长、技术难度大和综合要求高的产品
• 公司承担了国家"02专项"之"PECVD设备用陶瓷加热盘的关键技术与产业化"项目课题[4]

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• 珂玛科技是目前国内少数有多种陶瓷材料和产品通过国际头部半导体设备厂商A公司认证的先进结构陶瓷企业之一[4]
• 产品通过了SEMI F47抗腐蚀性测试等专业性测试[6]

• 成为主流国产半导体设备厂商包括北方华创、中微公司、拓荆科技、上海微电子和芯源微等的主要核心陶瓷零部件供应商[4]
• 陶瓷加热器、部分静电卡盘产品已经实现量产[4]

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• 静电卡盘占刻蚀机原材料采购成本的12.7%，此前长期被海外厂商垄断[3]
• 珂玛科技等国内企业的进展有助于增强市场竞争力，加速半导体设备国产替代进程[5]
• 在国内本土企业中，珂玛科技在静电卡盘的研发和生产方面处于领先地位[7]

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• 截至2024年8月，公司已累计获得国内授权专利78项，其中发明专利12项和实用新型专利66项[8]
• 研发技术人员总数达到152人，占公司总人数的18.34%[8]

• 中国本土首家拥有自主知识产权、从高精密陶瓷部件设计制造到洗净维护的提供商[6]
• 具备先进陶瓷前道制造、硬脆难加工材料加工和新品表面处理等全工艺流程技术[6]

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珂玛科技在静电卡盘领域的技术突破主要体现在：

等方面。这些突破标志着国产半导体设备在关键领域取得重要进展，有效降低了国内半导体产业链对进口设备的依赖，提升了产业链的自主可控能力。

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[1] 东方财富网 - “珂玛科技:12英寸静电卡盘已完成验证并实现小规模量产” (https://finance.eastmoney.com/a/202511123562073640.html)

[2] 搜狐 - “珂玛科技12寸静电卡盘进入客户验证阶段,半导体设备国产化迈出新步伐” (https://www.sohu.com/a/860490248_121798711)

[3] 新浪财经 - “半导体零部件系列研究之静电卡盘:静电卡盘是半导体关键零部件 技术壁垒高” (https://stock.finance.sina.com.cn/stock/go.php/vReport_Show/kind/lastest/rptid/744408268414/index.phtml)

[4] 艾邦半导体网 - “半导体设备用先进陶瓷材料零部件的头部企业——珂玛科技成功上市” (https://www.ab-sm.com/a/59195)

[5] 网易 - “珂玛科技净利增近2.8倍 高端陶瓷材料突破加速半导体设备国产替代” (https://www.163.com/dy/article/JSKB25IJ0519RO5L.html)

[6] 今日头条 - “半导体陶瓷材料优质公司珂玛科技详细解读” (https://www.toutiao.com/article/7483736847290663462/)

[7] 新浪财经 - “【山证新股】珂玛科技(301611.SZ):半导体先进陶瓷结构件本土市场份额领先,模组产品放量贡献收入” (https://finance.sina.com.cn/roll/2025-04-07/doc-ineshvhc4782002.shtml)

[8] 东方财富网财富号 - “珂玛科技将科技创新视为推动自身发展的核心动力” (https://caifuhao.eastmoney.com/news/20240816155354599862040)