珂玛科技半导体设备零部件国产替代进度分析

珂玛科技（股票代码：301570.SZ）是中国本土

的领军头部企业。公司自2009年起深耕先进陶瓷领域，已成功实现六大类先进陶瓷材料的量产，包括氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅、氧化钇和氧化钛[1][2]。

根据弗若斯特沙利文数据，2024年在国内供应商中，珂玛科技约占

，处于绝对领先地位。2023年公司占中国大陆国产半导体设备的先进结构陶瓷采购总规模约14%，占国产半导体设备的大陆本土先进结构陶瓷供应商供应总规模的约72%[3]。

陶瓷加热器是半导体设备CVD（化学气相沉积）设备的关键部件，主要用于晶圆的薄膜沉积生产工艺流程。珂玛科技在该领域的国产替代进度如下：

指标	具体情况
技术突破	基于多年技术积累、研发及产业化布局，成功实现国产替代
应用设备	已装配于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设备
量产情况	2024年开始实现大规模国产替换，已生产超700支
产能扩张	从年初100多支/月，2025年末计划提升至 接近200支/月 [4]

静电卡盘是刻蚀机、薄膜沉积设备的核心部件，用于固定晶圆。国产替代进度如下：

指标	具体情况
技术进展	已建立起产品技术体系和基础检测体系能力
量产情况	8寸型号静电卡盘已量产并形成收入
2025年计划	建设集成组装能力，攻克"陶瓷-金属"量产键合技术，推动大规模量产
新产线	苏州新生产基地将整合建设静电卡盘量产专用线[4]

该产品作为半导体设备关键零部件，也已进入量产阶段并形成收入贡献[1]。

• 国际头部半导体设备厂商A公司（全球供应商）
• 世界著名热产品和技术解决方案供应商WATLOW

• 北方华创
• 中微公司
• 拓荆科技
• 上海微电子
• 芯源微

此外还包括京东方、TCL华星光电、友达光电、天马微电子、三安光电等知名企业[5]。

产品	全球市场需求	市场格局
陶瓷加热器	42-57亿元人民币	日企占主要份额
静电卡盘	36-42亿元人民币	日企主导
超高纯碳化硅套件	15-19亿元人民币	国产替代空间大

据QYResearch数据，预计2029年全球半导体陶瓷加热器市场规模将达到

；预计2030年全球半导体用陶瓷静电卡盘市场规模将达到[3]。

珂玛科技构建了深厚的竞争护城河：

• 掌握
  6种基础材料
  的高纯度粉末合成技术、精密成型技术和高温烧结工艺
• 是国内少数掌握从材料配方到零部件制造
  全工艺流程
  核心技术的企业之一
• 多项关键技术指标达到
  国内领先、国际主流水平
• 产品通过SEMIF47抗腐蚀性测试等专业性测试[6]

• 承担两项
  国家级重大科研项目
  和一项省级重点项目
• 累计获得国内授权
  专利78项
• 中国本土首家拥有自主知识产权、从高精密陶瓷部件设计制造到洗净维护的提供商

• 净利润暴增
  2.8倍
  ，延续高速增长态势
• 先进陶瓷材料结构件产品在半导体领域销售收入规模大幅增长

• 营业收入
  2.48亿元
  ，同比增长54.26%
• 净利润
  8709.29万元
  ，同比大增72.69%[7]

业绩增长主要受益于：

1. 中国半导体市场整体复苏
2. 中国半导体产业规模快速增长
3. 设备关键零部件国产化不断推进
4. 公司"功能-结构"一体模块化产品的大规模量产

• 预计2025年内投入使用
• 全力搭建陶瓷加热器全新产线
• 整合建设静电卡盘量产专用线
• 建设全新半导体清洗线、检测中心，提高精益制造能力

• 陶瓷加热器理论产能达到接近
  200支/月
• 推动静电卡盘大规模量产工作
• 满足晶圆厂商和国内半导体设备厂商的已量产产品订单需求

珂玛科技在半导体设备零部件国产替代进程中处于

，具有以下核心看点：

1. 赛道稀缺
   ：本土半导体先进陶瓷材料零部件领军企业，市场份额约80%
2. 技术突破
   ：已突破多项"卡脖子"技术，实现陶瓷加热器国产替代
3. 产能释放
   ：2025年产能大幅扩张，支撑业绩持续增长
4. 客户优质
   ：覆盖国际头部厂商和主流国产半导体设备厂商
5. 市场广阔
   ：全球百亿级市场空间，国产替代红利持续释放

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[1] 中金在线 - 珂玛科技:5月9日召开业绩说明会 (http://sc.stock.cnfol.com/gushiyaowen/20250509/31303894.shtml)

[2] 搜狐 - 珂玛科技2024年报:净利润暴增2.8倍 (https://www.sohu.com/a/881732900_122006510)

[3] 新浪财经 - 珂玛科技:半导体先进陶瓷结构件本土市场份额领先 (https://finance.sina.com.cn/stock/relnews/cn/2025-04-02/doc-ineruxsi3275719.shtml)

[4] 新浪财经 - 珂玛科技:2025年末陶瓷加热器理论产能将接近200支/月 (https://finance.sina.com.cn/stock/relnews/cn/2025-04-07/doc-ineskazp4326449.shtml)

[5] 网易 - 珂玛科技:2024年上半年先进陶瓷材料零部件收入占比提升 (https://www.163.com/dy/article/JB2PID0V0519QIKK.html)

[6] 雪球 - 柯玛科技的稀缺性与核心竞争力 (https://xueqiu.com/4382541756/320647438)

[7] 今日头条 - 珂玛科技一季度业绩高增超七成 (https://www.toutiao.com/article/7497095964541485622/)